2021년에 "입자 침착률의 적용"이라는 제목의 거대 입자 제어에 관한 ISO 14644 cleanroom standard part 17이 발표되었다. 그러나 그것은 실제 응용에서 어떻게 작동하는가? Brookhuis의 Koos Agricola가 설명한다.

입자 침착률은 공기 청정도와 표면 오염 사이에 직접적인 관계를 제공한다. 즉, 입자 침착률은 중요한 위치에서 클린룸 요구 사항으로 사용될 수 있으며 특히 인력이 있는 클린룸에서는 모니터링 매개변수로 사용될 수 있다.

ISO 14644-17:2021은 오염 제어의 3단계(요구사항 설정, 제어 설정, 작동 중 제어 시연)에서 입자 침착률 적용에 대한 지침을 제공한다.

입자 침착률은 클린룸 환기와 클린룸 사용 방식(작동)에 의해 영향을 받는다. ISO 14644-17을 적용하면 클린룸 환기와 클린룸 작동의 최적 조합을 찾고 에너지 소비를 줄이는 데 도움이 된다.

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